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此次慶典參加人員除了貝意克全體員工之外,還有部分貝意克10年來的老客戶和合作伙伴們通過視頻祝福的方式與大家分享了喜悅。讓我們重新回顧了10年來貝意克一路走來的點點滴滴,此情此景,讓每個貝意克人都心潮澎湃。
(簽到墻合影)
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本次慶典活動共分為三個篇章。第一篇章“榮耀歷程”中,,在開場節目《開門紅》一番熱情喜慶表演之后,孔令杰董事長上臺致辭。在致辭中條分縷析的向現場來賓闡釋了貝意克10年來的發展歷程,及未來的企業規劃,孔總表示:貝意克經過十年的不斷發展,從安巢經開區的?2.7萬平米產業布局,到肥西經開區5萬平米貝意克智能裝備產業園,建成后設有貝意克工程設計中心,貝意克工程技術中心,貝意克聯合實驗室等研發公共服務平臺,讓我們看到了貝意克的明天更加輝煌。
(開門紅舞)
(孔總演講中)?????????????????????
一陣悠美的小提琴演奏后,緊接著進入第二篇章“感恩同行”的環節,10年取得的成績離不開那些一路追隨、同舟共濟的老員工們?;顒蝇F場舉行了“忠誠貢獻獎”“優秀員工”“優秀經理”“優秀部門”“銷售冠軍”等頒獎儀式
(小提琴演奏)
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(頒發優秀部門獎)
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最后一個篇章是“共贏未來”。在《激情龍鼔》精彩表演之后,貝意克全體同仁帶來的大合唱《不放棄》,展現了貝意克人激情澎湃、積極進取的精神風貌,將現場的氣氛再一次推向了高潮!
(激情龍鼔表演)
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(全員大合唱《不放棄》)
(領導切分生日蛋糕)
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貝意克已經走過了10個年頭,趁此周年慶之日,感謝一路上所有支持和幫助過貝意克的朋友和同事,從企業初創到進入高速發展期,從一張白紙到不斷地整合創新,我們已經在設備制造行業作出了自己的一番成績,但貝意克前進的腳步不會停止,貝意克人奮進拼搏的精神不會停歇,貝意克在前行道路上將再接再厲,繼續同心同行,共贏未來!
設備簡介
我公司研制的滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD),系統可以實現連續滑動溫區,連續可控制溫度及Plasma強度。PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:
1、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。
2、通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單
一、前端預熱器
使用溫度 |
400℃ |
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7”工控電腦,內置PLC控制程序,可將溫控系統、滑軌爐滑動(時間和距離)設定為程序控制。 |
加熱長度 |
100mm |
加熱原件 |
電阻絲 |
二、加熱爐
最高溫度 |
1200℃ |
使用溫度 |
≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 |
Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。) |
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
控溫精度 |
±1℃ |
控溫方式 |
30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7”工控電腦,內置PLC控制程序。 |
加熱長度 |
440mm |
恒溫長度 |
200mm |
加熱原件 |
電阻絲 |
供電電源 |
單相,220V,50Hz |
三、PE系統
功率輸出范圍 |
0W~500W |
最大反射功率 |
100W |
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 |
≤5W |
諧波分量 |
≤-50dbc |
供電電壓 |
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機效率 |
>=70% |
功率因素 |
>=90% |
冷卻方式 |
強制風冷 |
功率輸出范圍 |
0W~500W |
最大反射功率 |
100W |
射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 |
≤5W |
諧波分量 |
≤-50dbc |
供電電壓 |
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ |
整機效率 |
>=70% |
功率因素 |
>=90% |
冷卻方式 |
強制風冷 |
四、三路質子流量控制系統
連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程(N2) |
50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制) |
準確度 |
±1.5%F.S |
線性 |
±1%F.S |
重復精度 |
±0.2%F.S |
響應時間 |
氣特性:1~4 sec,電特性:10 sec |
工作壓差范圍 |
0.1~0.5 MPa |
最大壓力 |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
顯示 |
4位數字顯示 |
工作環境溫度 |
5~45高純氣體 |
壓力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 |
Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
五、低真空
空氣相對濕度 |
≤85% |
工作環境 |
5℃~40℃ |
工作電電壓 |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽氣速率 |
10m³/h |
極限真空 |
5X10-1Pa |
工作壓力范圍 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐壓值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
進氣口口徑 |
KF25 |
排氣口口徑 |
KF25 |
噪音 |
50dB |
連接方式 |
采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連 |